Departemen Teknik Geologi Fakultas Teknik Universitas Diponegoro didirikan dan mulai aktif pada tahun 2004. Sebelumnya, Fakultas Teknik Universitas Diponegoro yang saat itu sudah memiliki program Strata Satu bidang Teknik Sipil, Arsitektur, Kimia, Mesin, Elektro, Planologi, Industri Lingkungan dan Perkapalan, ingin berperan aktif dalam upaya mengatasi kebutuhan sumber daya manusia di bidang geologi. Dengan melewati berbagai perjuangan, akhirnya Departemen Pendidikan Nasional, melalui Direktorat Jenderal Pendidikan Tinggi, memberikan ijin penyelenggaraan pendirian Program Studi Teknik Geologi Fakultas Teknik Universitas Diponegoro dengan surat bernomor: 3024/D/T/2004, tertanggal 4 Agustus 2004.

Awalnya, kegiatan akademik dan administrasi Program Studi Teknik Geologi bertempat di Gedung Kuliah Bersama Fakultas Teknik. Pada tahun 2008, diperoleh bantuan dari PT. Pertamina untuk pembangunan gedung khusus bagi Teknik Geologi.  Pembangunan gedung dapat diselesaikan dengan lancar sehingga mulai 2010 Teknik Geologi menempati gedung tiga lantai seluas 1,265 m² yang diberi nama Gedung Pertamina Sukowati. Berdasarkan Keputusan Rektor No. 1122/UN7.P/HK/2016, Program Studi Teknik Geologi telah berubah statusnya menjadi Departemen Teknik Geologi mulai tanggal 20 September 2016. Pada tahun 2022, Program Studi Teknik Geologi telah terakreditasi Unggul dengan SK BAN-PT Surat Keputusan no. 5761/SK/BAN-PT/Ak/S/VII/2022. Selain terakreditasi nasional BAN-PT, Program Studi S1 Teknik Geologi juga telah terakreditasi internasional oleh IABEE  dengan Sertifikat Akreditasi no. 000200.A tertanggal 31 Maret 2025.